เครื่องปฏิกรณ์นิวเคลียร์ บอยเลอร์ เครื่องจักร เครื่องใช้กล › ส่วนประกอบและอุปกรณ์ประกอบ

ของไอออนอิมแพลนเตอร์สำหรับการโด๊ปวัตถุกึ่งตัวนำ ของเครื่องเคลือบทางกายภาพบนเวเฟอร์กึ่งตัวนำ โดยวิธีการสปัตเตอร์ ของเครื่องเคลือบทางกายภาพ สำหรับการผลิตสารกึ่งตัวนำ ของเครื่องอุปกรณ์ที่ใช้ เขียนลายวงจรบนแว่นผลึกโดยตรง ของเครื่องปรับแนว แบบขยับและทำซ้ำ และของเครื่องอุปกรณ์การพิมพ์ แบบลิธอกราฟอื่น ๆ

Of ion implanters for doping semiconductor materials; of apparatus for physical deposition by sputtering on semiconductor wafers; of physical deposition apparatus for semiconductor production; of direct write-on-wafer apparatus, step and repeat aligners and other lithography equipment