เครื่องปฏิกรณ์นิวเคลียร์ บอยเลอร์ เครื่องจักร เครื่องใช้กล › ส่วนประกอบและอุปกรณ์ประกอบ

ของเตาเผาและเตาอบแบบทำความร้อนโดยใช้ ความต้านทาน สำหรับการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำ บนเวเฟอร์กึ่งตัวนำ และของเตาเผาและเตาอบ แบบเหนี่ยวนำหรือแบบไดอิเล็กทริก สำหรับการผลิต อุปกรณ์กึ่งตัวนำบนเวเฟอร์กึ่งตัวนำ

Of resistance heated furnaces and ovens for the manufacture of semiconductor devices on semiconductor wafers; of inductance or dielectric furnaces and ovens for the manufacture of semiconductor devices on semiconductor wafers