อุปกรณ์เกี่ยวกับทัศนศาสตร์ การถ่ายรูป การวัด การแพทย์

สำหรับตรวจสอบเวเฟอร์กึ่งตัวนำหรืออุปกรณ์กึ่งตัวนำ (รวมถึงวงจรรวม) หรือสำหรับตรวจสอบโฟโตมาสก์หรือ เรติเคิลที่ใช้ในการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำ (รวมถึงวงจรรวม)

For inspecting semiconductor wafers or devices (including integrated circuits) or for inspecting photomasks or reticles used in manufacturing semiconductor devices (including integrated circuits)